喜訊 | 計量維修部獲榮省科技進步二等獎
來源：
發布時間：2023年04月23日
瀏覽次數：
近日，河北省科學技術獎勵大會在石家莊召開。省委書記、省人大常委會主任倪岳峰等領導出席大會并為代表頒獎。產業基礎研究院副院長趙瑞華作為科研院所代表受邀參加大會，計量維修部趙琳作為省科技進步二等獎獲獎代表參會。
趙琳、李鎖印等人主持完成的“微納尺寸線距標準樣片的研制與定值”獲得省科技進步二等獎。該項目面向半導體行業內微納尺寸測量儀器的校準需求，研制完成微納量級多量值復合型標準樣片，為微納尺寸參數測量準確性提供了保障。在項目研究基礎上，編制并發布國家標準《微納米標準樣板（幾何量）》1項，完善了國家微納米標準樣品體系，相關技術進行了成果轉化。
長期以來，計量維修部立足研究院計量需求，持續開展前沿計量測試技術研究，在技術水平及保障能力提升方面取得較好成效。后續，部門也將在已有技術基礎上，進一步做好成果推廣工作，助力研究院院及半導體行業高質量發展！
