《半導體技術》和《微納電子技術》簡介
《半導體技術》和《微納電子技術》均是由中國電子科技集團公司主管、中國電子科技集團公司第十三研究所主辦的科技期刊。兩刊均為中文核心期刊、中國科技核心期刊,被中國期刊網、中國學術期刊(光盤版)、萬方數據數字化期刊群入網期刊、中文科技期刊數據庫等國內數據庫,美國《化學文摘》(CA)、美國《劍橋科學文摘》(CSA)、英國《科學文摘》(SA, INSPEC)、俄羅斯《文摘雜志》(AJ,VINITI)、美國《烏利希期刊指南》(Ulrich’s) 等國外數據庫收錄。
《半導體技術》欄目分為:趨勢與展望,半導體材料與器件,半導體制備技術,集成電路設計與應用,封裝、檢測與設備。聚焦半導體技術領域材料、器件、集成電路等方向的設計與應用,策劃出版最新研究成果。
《微納電子技術》欄目分為:技術論壇,器件與技術,材料與結構,MEMS與傳感器,加工、測量與設備。主要內容包括:納電子學、微系統與納系統、納電子器件與技術、納米材料與結構、納米測試技術、MEMS器件與技術、微細加工技術與設備、納米技術應用等領域國內外的最新進展,并兼顧微電子領域的最新研究成果。
《半導體技術》編輯部
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《微納電子技術》編輯部
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